一つの感応体で湿度とガスの両方を検出可能としたセンサ

開放特許情報番号
L2001006380
開放特許情報登録日
2001/4/21
最新更新日
2018/2/20

基本情報

出願番号 特願平11-075643
出願日 1999/3/19
出願人 ホーチキ株式会社、大阪府
公開番号 特開2000-266714
公開日 2000/9/29
登録番号 特許第4033575号
特許権者 ホーチキ株式会社、地方独立行政法人大阪産業技術研究所
発明の名称 センサ及び湿度ガス検出方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 湿度、及び、又はガスの同時検出装置
目的 一つの感応体で湿度とガスの両方を検出可能とする。
効果 ガス体、及び湿度に依存して電気抵抗の温度特性が変化するSnO↓2、ZnO、又はIn↓2O↓3を用いることにより、ガスと温度の両方を、一つの感応体で測定することができる。
技術概要
ガス体、及び湿度に依存して電気抵抗の温度特性が変化するSnO↓2、ZnO、又はIn↓2O↓3薄膜をマイクロブリッジ上に形成し、マイクロヒータによって間欠的に加熱すると同時に、抵抗値変化を測定することによって、湿度、及びガスを同時に検知・測定することを特徴とする。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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