周期的な振動振幅を振動センサを用いて測定すると共に、マイケルソン型光波干渉計を用いて計数法で測定し、その計数法による測定情報を参照常法として振動センサ測定情報を校正するようにした振動センサ校正装置

開放特許情報番号
L2001006316 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2001/4/21
最新更新日
2015/8/13

基本情報

出願番号 特願平09-189358
出願日 1997/7/15
出願人 工業技術院長
公開番号 特開平11-037807
公開日 1999/2/12
登録番号 特許第3023771号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 振動センサ校正装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 振動センサ校正装置
目的 從来の振動センサ校正装置による測定、即ち光学系による測定の誤差の要因のうち、振動振巾に関するものは、主に量子化誤差と干渉縞の計数誤差に起因する。このうち、量子化誤差は光干渉による輝度間隔を計測の最小單位とするため避けられない。一方、計数誤差は、パルス信号のうち、実際には輝度に対応する信号ではなく、單なるノイズであるにもかゝわらず、そのノイズを輝度信号として計数する為である。そこでマイケルソン型光波干渉計での測定精度を向上させる方法を提供することを目的とする。
効果 マイケルソン型光波干渉計でのビームスプリッタと参照鏡との間の光路内に光透過体を配置し、その光透過体と光路との成す角度の微少調整により、パルス信号をシフトアップし、そのシフトアップしたパルス信号をカウントする様にしたので、基準光路長を波長に比べ十分精密に変化させることができ、ノイズの影響を確実に除去させる事ができ、測定精度を向上させることができる。
技術概要
マイケルソン型光波干渉計でのビームスプリッタと参照鏡との間の光路内に光透過体を配置し、その光透過体と光路との成す角度の微少調整により、パルス信号をシフトアップし、そのシフトアップしたパルス信号をカウントする様にしたので、基準光路長を波長に比べ十分精密に変化させることができ、このため、十分な分解能でパルス信号をシフトアップでき、このシフトアップにより、ノイズの影響を確実に除去させることができる。又、光透過体と光路との成す角度の調整は、回転微動台を用いることで容易に行うことができる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT