一酸化炭素感応酸化チタン薄膜、これを用いたガスセンサーおよび酸化チタン薄膜の製造方法

開放特許情報番号
L2001006117
開放特許情報登録日
2001/4/14
最新更新日
2008/10/24

基本情報

出願番号 特願平09-280854
出願日 1997/10/14
出願人 日本碍子株式会社
公開番号 特開平11-116243
公開日 1999/4/27
登録番号 特許第4057684号
特許権者 日本碍子株式会社
発明の名称 一酸化炭素感応酸化チタン薄膜、これを用いたガスセンサー及び酸化チタン薄膜の製造方法
技術分野 電気・電子、化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 ガスセンサー、触媒
目的 COガスセンサー、有害物の分解
効果 一酸化炭素に対して低温で極めて高いガス選択性と3桁以上の高いガス感度を示す。 一酸化炭素に対してガス応答性、感度、選択性に優れる。 3次非線形光学材料。光に対して非常に活性のため、光触媒としても有望である。
技術概要
 
8族元素を0.01〜3mol%貴金属元素0.05〜5mol%残部がチタンからなる成膜液をセラミックス基板上に成膜した後乾燥し、酸化雰囲気中で予備処理を行い還元雰囲気中350〜600℃で焼成を行った後さらに酸化雰囲気中で加熱することにより得られた薄膜は、一酸化炭素に対して高いガス感度と選択性を有する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 希望売り込み先:センサーメーカー、セラミックメーカー

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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