貴金属分散酸化チタン薄膜の製造方法およびガスセンサー

開放特許情報番号
L2001006100
開放特許情報登録日
2001/4/14
最新更新日
2008/6/27

基本情報

出願番号 特願平09-280855
出願日 1997/10/14
出願人 日本碍子株式会社
公開番号 特開平11-118746
公開日 1999/4/30
登録番号 特許第3897415号
特許権者 日本碍子株式会社
発明の名称 貴金属分散酸化チタン薄膜の製造方法及びガスセンサー
技術分野 電気・電子、化学・薬品、無機材料
機能 材料・素材の製造、環境・リサイクル対策
適用製品 ガスセンサー、触媒、光触媒
目的 H2ガスのセンシング、有機物の分解
効果 TiO2ゾルを用いることにより気孔の制御が可能で多孔質の薄膜が得られる。そのためセンサーとしてガス応答性、ガス感度等に優れる。 水素ガスに対してガス応答性、感度、選択性に優れる。 3次非線形光学材料、光に対して非常に活性のため、光触媒としても有望である。
技術概要
 
チタンと貴金属元素を含む前駆体の溶液とTiO2ゾルとをTiO2への重量換算比が1:3から3:1となるように混合後、その混合物をセラミックス基板上にしたのち乾燥し、酸化性雰囲気中で予備処理を行った後還元雰囲気中で加熱を行う。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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