強誘電体にパルス電圧を印加することにより電子を放出させる電子ビーム発生源を備えたガスレーザー装置のガス励起装置。

開放特許情報番号
L2001004065 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2001/3/17
最新更新日
2015/8/13

基本情報

出願番号 特願平11-189210
出願日 1999/7/2
出願人 工業技術院長
公開番号 特開2001-015840
公開日 2001/1/19
登録番号 特許第3051930号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 ガス励起装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 強誘電体陰極から電子をガス中に直接打ち込むようにした大出力ガスレーザー装置用ガス励起装置。
目的 ガスレーザーにおけるガス励起装置は、電子エネルギを直接ガスに注入するもので「電子ビーム励起式」と「放電励起式」が知られているが、前者はガス保持薄膜の性能・耐久性に、また、後者はガス中でのグロー放電が不安定になり易いという問題がある。そこで、強誘電体陰極から電子をガス中に直接打ち込む大出力・高効率・高繰り返し動作が可能なガス励起装置を提供する。
効果 実施例によれば、本装置は、従来必要としたガス保持薄膜や陰極表面の強電界が不要となるばかりでなく電極間電界の低減が可能となり、電子ビーム励起式、放電励起式双方の短所を補い長所を合わせたガスレーザー装置である。
技術概要
数100μm〜1mm程度の厚さの板状の強誘電体の両面を2枚の電極で挟み、電子放出面では強誘電体の一部が露出するようにスリット状の電極で覆い接地し、裏面は強誘電体全面を完全に電極で覆う。そして、反転電圧源を裏面の反転電極に接続し、両極性の方形波を印加する。初めに反転電極に正極性電圧を印加したとき、強誘電体の両面に電荷が蓄積される。電子放出面となるスリット電極側では、スリットの隙間の部分の強誘電体表面にも電子が蓄積される。次に反転電極の極性が正から負に急速に反転すると強誘電体内部の分極が反転し、スリット電極側附近の強誘電体内部では負の分極電荷が発生する。その結果スリット電極側の強誘電体表面に蓄積していた電子が、スリットの隙間を通して静電的に外部に弾き出される。弾き出された電子を直接レーザーガス中に打ち込み、ガス分子に衝突させることによりレーザーガスを励起する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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