レーザー照射で透明材料を簡便かつ精密に微細加工できるレーザー微細加工法

開放特許情報番号
L2001003968 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2001/3/10
最新更新日
2015/8/13

基本情報

出願番号 特願平10-265837
出願日 1998/9/21
出願人 工業技術院長
公開番号 特開2000-094163
公開日 2000/4/4
登録番号 特許第3012926号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 透明材料のレーザー微細加工法
技術分野 無機材料、機械・加工
機能 表面処理
適用製品 光吸収の大きな流動性物質を利用した、レーザーによるガラスの微細エッチング方法
目的 従来より、光吸収が少ない透明物質は、直接的なレーザーエッチング法を利用する加工法は困難であることが知られている。これに対して、この発明は、精密に透明材料を微細エッチングする簡便な方法を提供することを目的とする。
効果 この発明による透明材料の微細加工の結果、数マイクロメーターの微細構造の形成が可能である。具体的な応用例としては、グレーティング、マイクロレンズ、マスクなどの加工、透明材料のマーキングなど様々の加工が可能となる。
技術概要
 
図のように透明材料に流動性物質を接触させる。透明材料が容器状、管状および基板状に関係なく接触方法は任意に決められる。最終的に流動性物質を透明材料に接触できれば良い。この接触部分は大気圧に開放しても、減圧でも加圧でも可能で、雰囲気ガスを導入しても良い。さらに、エッチングの安定性を高めるための手段、例えば、流動性物質を循環する方法、あるいは、撹拌する方法などを使うことができる。次に、透明材料を通して、流動性物質と透明材料の接触面にレーザーを照射させる。レーザーと透明材料の入射角度も任意に設定でき、流動性物質と透明材料の接触面にレーザーが到達できるようになれば良い。この発明の手法によれば、透明材料のレーザー入射側の表面では何らの変化もないが、流動性物質と接触した面ではレーザー照射部分にのみ選択的にエッチングが行える。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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