微細加工装置、精密高速位置決め装置、マイクロポンプ等に利用可能な超磁歪材料の駆動方式

開放特許情報番号
L2001003943 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2001/3/10
最新更新日
2015/8/13

基本情報

出願番号 特願平09-174160
出願日 1997/6/30
出願人 工業技術院長
公開番号 特開平11-027967
公開日 1999/1/29
登録番号 特許第2899689号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 超磁歪材料の駆動方法
技術分野 機械・加工
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 微細加工装置、精密高速位置決め装置、マイクロポンプ
目的 棒状の超磁歪材料の長さ方向に複数の励磁コイルを位置を変えて巻き、各励磁コイルにパルス電流を印加し、超磁歪材料の各励磁コイル付近に局所的な磁歪を生じさせる。磁歪に基づく弾性波が磁歪材料の一端面において重なり合うように、時間差をつけて各コイルにパルス電流を流す超磁歪材料の駆動方式を提供する。
効果 簡単な構成でマイクロ秒の単位で微細な変位を得ることができるので、微細加工や精密高速位置決め、マイクロポンプ等といった様々な分野において広範に使用することが可能である。
技術概要
実施例で説明する。直径6mm、長さ60mmの円柱状の超磁歪材料の一端から25および5mmの位置に、それぞれ直径0.4mmの銅線を17回巻いた内径6.5mm、外形10mm、長さ2.5mmのコイルを設置した。これらのコイルに弾性波の伝播速度を考慮した時間差をもうけて、約200A、5μsの半波正弦波電流の流したところ、超磁歪材料棒の一端に、それぞれのコイル単独に励磁したときに現れる変位の和に相当する変位を観測することができた。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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