適用製品
レーザ装置、元素分析システム、及び元素分析方法
目的
レーザ光を用いて対象物に含有する元素を分析する際に、対象物の表面の破壊を抑制する。
効果
レーザ光を用いて対象物に含有する元素を分析する際に、対象物の表面の破壊を抑制できる。よって、高精度な元素分析が可能である。
技術概要
対象物に対してレーザ光を照射するレーザ照射部を備えたレーザ装置において、
前記レーザ光の照射により前記対象物から生じる音波を取得する音波取得部を備え、
前記レーザ照射部は、前記音波取得部にて取得された前記音波に基づいて所定の焦点位置に制御される、
ことを特徴とするレーザ装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
