有機ＥＬの成膜が大型ディスプレーパネルの基板でも最適な成膜の方法及び装置

基本情報

出願番号	特願2018-542796
出願日	2018/5/18
出願人	株式会社オプトニクス精密
公開番号	WO2018/216631
公開日	2018/11/29
登録番号	特許第6559905号
特許権者	株式会社オプトニクス精密
発明の名称	成膜方法及び成膜装置
技術分野	金属材料
機能	機械・部品の製造
適用製品	有機ＥＬテレビ、有機ＥＬ携帯電話
目的	マスクを用いて基板上に微細なパターンで成膜材料を堆積させて成膜する方法及び装置を提供する。
効果	大型のディスプレーパネルの基板上においても成膜材料の微粒子を高精度に堆積でき、高解像セグメントを色ムラなく有機ELのRGBを基板上に成膜することができる。
技術概要	微粒子を振動させる圧電素子とメッシュノズルを用いた噴霧装置で帯電した微粒子を噴霧するとともに、基板には帯電した微粒子と逆極性の電位を与え、マスクには帯電した微粒子と同極性の電位を与える成膜の方法及び装置である。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

アピール内容	基板上に成膜材料の微粒子を高精度に堆積できるので、大型のディスプレーパネル基板上に有機ELのRGBを成膜することができ、大型有機ELパネルの製造に適した装置である。

登録者名称	株式会社オプトニクス精密