適用製品
ＳＱＵＩＤ磁気センサを用いる非破壊検査装置
目的
電子デバイスなどの絶縁物中や帯磁可能な部材中の磁性パーティクルを非破壊で、かつ的確に検出することができるＳＱＵＩＤ磁気センサを用いる非破壊検査装置を提供する。
効果
被検査物中に混在するパーティクルを非破壊で、かつその位置情報を含めて的確に検出することができる。
技術概要
被検査物の長手方向に磁場を印加する水平帯磁用磁石と、該水平帯磁用磁石により長手方向に水平磁化された被検査物がセットされる検査部と、前記水平磁化された被検査物を搬送するベルトコンベアと、前記水平磁化された被検査物である磁化可能な部材とともに水平磁化されたパーティクルを検出するグラジオメータとを具備するＳＱＵＩＤ磁気センサを用いる非破壊検査装置であって、前記ベルトコンベアは、前記被検査物に磁場を印加する帯磁ステージとなる第１のベルトコンベアと、該第１のベルトコンベアとは別個に配置され、前記被検査物が検査される検査ステージとなる第２のベルトコンベアとを具備することを特徴とするＳＱＵＩＤ磁気センサを用いる非破壊検査装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
