目的
微小な表面応力の変化を検出することができ、小型化・アレイ化を可能にする物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスならびにこれらの製造方法を提供する。
効果
受光素子の表面側に形成した膜部の撓み状態によって、膜部に固定した物質（分子等）による分子間力の変化を測定することができる。予め特定のプローブ分子（抗体）を膜部表面に固定し、検査対象物の供給の前後における特定波長の光の強度を測定することによって、特定のタンパク質（抗原）の存在を検出することができる。受光素子の作製に続けて、半導体作製プロセス技術を用いることにより、小型に作製できるとともに、アレイ化も可能である。
技術概要
受光素子の受光面の表面に、中空部を形成しつつ該受光面に対向して設けられた膜部を備え、
前記膜部は、光透過性および可撓性を有し、前記受光面の表面とでファブリペロー共振器を形成するとともに、少なくとも外側表面に物質固定能を有している膜部であることを特徴とする物理・化学センサ。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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