| 出願番号 |
特願2004-234010 |
| 出願日 |
2004/8/11 |
| 出願人 |
国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 |
| 公開番号 |
特開2006-053003 |
| 公開日 |
2006/2/23 |
| 登録番号 |
特許第4052597号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 |
| 発明の名称 |
高感度ガス分析装置 |
| 技術分野 |
情報・通信、電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
大気等に含まれる微量ガスを繰返し高感度で定量することができるガス分析装置 |
| 目的 |
大気等に含まれる微量ガスを定量するガス分析装置において，対象ガスの検出感度と測定精度を高める。 |
| 効果 |
大気中の特定ガス，自動車排気ガス中の有害ガス，呼気中の特定ガス，構造材に含まれる特定ガス等の微量ガスを最高ｐｐｍオーダーの高い感度で再現性よく測定できる。 |
技術概要
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微量ガスを繰返し定量測定することができるガス分析装置において、
被測定ガス流路が、被測定ガスリザーバ、前記ガスリザーバに開閉弁を介して接続する小容器、前記小容器に開閉弁を介して接続するバッファタンク、前記バッファタンクに配管を介して接続するマニホールド、及び前記マニホールドに配管を介して接続する真空排気装置から構成され、
前記マニホールドと真空排気装置付四極子型質量分析計とが、被測定ガスの一部を前記マニホールドから前記質量分析計のイオン源に導入するオリフィスを介して、接続されることからなり、
前記小容器に採取した大気圧の被測定ガスを前記２つの開閉弁を交互に開閉して流出させることにより被測定ガスパルスを前記質量分析計に導入して定量測定することを特徴とする、前記ガス分析装置。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)