目的
噴射によって基板上に堆積させて成膜するために用いられ、複数の原料成分を含むと共にその偏在が抑制される成膜用原料粉体と、かかる成膜用原料粉体を用いて形成される複数成分が良好に分散した均質なセラミックス膜を提供する。
効果
母材に起因する成膜性を維持しつつ、所望の特性を発現するセラミックス膜を提供できる。
技術概要
噴射した原料を基板上に堆積させて成膜する成膜方法に用いられる原料粉体であって、
セラミックス組成物からなる粒状体を母材とし、その母材とは異なる種類の微小固体が前記母材表面上において３．３％〜３３．４％の被覆率範囲となる予め定めた被覆量で付着した複合体からなると共に、実質的に原料粉体の全量が前記複合体であることを特徴とする原料粉体。
基本情報
開放特許情報
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