ポリイミド微細構造体の製造方法

基本情報

出願番号	特願2018-155259
出願日	2018/8/22
出願人	国立大学法人静岡大学
公開番号	特開2020-029501
公開日	2020/2/27
登録番号	特許第7233679号
特許権者	国立大学法人静岡大学
発明の名称	ポリイミド微細構造体の製造方法
技術分野	有機材料
機能	材料・素材の製造
適用製品	板状部材においてポリイミド微細構造体を作製するポリイミド微細構造体の製造方法
目的	板状部材上に形成されるポリイミドを十分に微細化することが可能なポリイミド微細構造体の製造方法を提供する。
効果	板状部材上に形成されるポリイミドを十分に微細化することができる。
技術概要	ポリイミド微細構造体を作製する製造方法であって、板状部材上にポリイミド前駆体を含む加工用の膜を形成する形成ステップと、前記板状部材上の前記加工用の膜に所定の照射パターン及び所定の強度でレーザ光を照射することによって、光反応により前記加工用の膜をイミド化する照射ステップと、前記板状部材上の前記加工用の膜のうちの残余のポリイミド前駆体を除去する除去ステップと、を備えるポリイミド微細構造体の製造方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人静岡大学