適用製品
流量測定装置、流量測定方法および流量測定プログラム
目的
レーザドップラ法による非接触式で、精度よく測定対象内の流体の流量を測定できるようにすること。
効果
レーザドップラ法による非接触式で、精度よく測定対象内の流体の流量を測定することができる。
技術概要
測定対象にレーザ光を照射して、前記測定対象内に所定の測定体積となる光収束部分を形成する手段と、
前記光収束部分からの後方散乱光を受光する手段と、
前記受光した信号を周波数解析する手段と、
前記周波数解析の結果から、低周波数帯の信号強度に基づいて前記光収束部分の深さ方向の位置を制御する手段と、
前記低周波数帯の信号強度と前記深さ方向の位置の関係から、前記周波数解析の結果の高周波数帯の信号強度に補正を行う手段と、
前記補正が行われた高周波数帯の信号強度および周波数に基づいて流量を計算する手段と
を備えたことを特徴とする流量測定装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
