適用製品
デュアルコム分光法を用いた偏光計測装置と偏光計測方法
目的
デュアルコム分光法を用いた高速かつ高精度の偏光計測を実現する。
技術概要
デュアルコム分光法を用いた偏光計測装置は、第１の繰り返し周波数を有する第１の光周波数コム光源と、第２の繰り返し周波数を有する第２の光周波数コム光源と、前記第１の光周波数コム光源の光路上で試料の出射側に配置され偏光状態を周期的に変調する変調素子と、前記変調素子を、前記第１の光周波数コム光源と前記第２の光周波数コム光源の繰り返し周波数差の分数倍の周波数で偏光変調する手段と、前記第１の光周波数コム光源から出力されて前記試料及び前記変調素子を透過する光と前記第２の光周波数コム光源から出力される光の干渉光を検出する検出器と、前記干渉光に基づいて前記試料を透過した光の偏光状態を計測する解析装置と、を有する。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
