| 出願番号 |
特願2005-180539 |
| 出願日 |
2005/6/21 |
| 出願人 |
国立大学法人豊橋技術科学大学 |
| 公開番号 |
特開2007-002273 |
| 公開日 |
2007/1/11 |
| 登録番号 |
特許第4719877号 |
| 特許権者 |
国立大学法人豊橋技術科学大学 |
| 発明の名称 |
マイクロ波プラズマトーチ及びマイクロ波プラズマ溶射装置 |
| 技術分野 |
金属材料、電気・電子、無機材料 |
| 機能 |
機械・部品の製造、表面処理、接着・剥離 |
| 適用製品 |
プラズマ溶射装置、有機フッ素ガスなどの有害ガスの分解処理装置、医療材料の滅菌処理装置 |
| 目的 |
マイクロ波プラズマトーチ及びそれを用いたマイクロ波プラズマ溶射法により、供給した固体の溶射原料粉末を加熱溶解し、加速し、皮膜を形成する方法を提供する。 |
| 効果 |
プラズマ形成ガス及び溶射材料粉末を空洞共振器内に据えられた中空アンテナを通じて供給し、空洞共振器に投与したマイクロ波で高温プラズマを発生し、溶射材料を溶融し、基材に吹き付けるものである。 |
技術概要
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プラズマ溶射法においては、主に直流放電または高周波放電が用いられており、１ｋW程度以下でのマイクロ波によるプラズマ放電は効率が悪く高温度のプラズマ生成ができなかった。これを、プラズマ発生法から検討することにより高温度プラズマの生成を実現した。このマイクロ波プラズマを用いて、供給した溶射原料粉末を加熱溶融し、加速し、良好な皮膜を形成することが可能となった。この溶射装置は金属やセラミックスの溶射に利用できる。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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